Fraunhofer HHI нь Veeco-ийн Sputter системийг сонгодог

Оптик харилцаа холбооны хүрээлэнгээс лазерын бүрхүүл, бичил оптик төхөөрөмжийг бий болгох ион цацраг цацах системийг захиалдаг.

HHI нь Veeco-ийн IBS технологийг ашиглан лазерын нүүрний бүрээсийг бий болгоно.

Veeco Instruments өөрийн Spector Ion Beam Sputtering (IBS) систем болон Sirius Optical Monitor системээ Fraunhofer хүрээлэн Цахилгаан холбоо(HHI).
ХБНГУ-ын Берлин хотод байрладаг тус хүрээлэн энэ IBS технологийг “лазерын нүүрэн бүрхүүл болон бусад микро-оптик төхөөрөмжийг боловсруулж үйлдвэрлэхэд ашиглах болно” гэжээ.
"Микро оптикийн нарийн төвөгтэй төхөөрөмжийг боловсруулахад шүрших онцгой технологи шаардагдана" гэж Fraunhofer-ийн арын хэсэг, сав баглаа боодлын бүлгийн дарга Грета Роперс тайлбарлав.
"Veeco-ийн Spector систем нь Сириус OMS-тэй хослуулан автоматжуулсан, тогтсон платформ дээр хамгийн өндөр нэвтрүүлэх чадвар, процессын давтагдах чадвар бүхий дэлхийн түвшний төхөөрөмжүүдийг боловсруулж, үйлдвэрлэх боломжийг баталгаажуулна."

Оптик нимгэн хальс
Spector платформ нь өндөр чанарын оптик нимгэн хальс үүсгэдэг бөгөөд бүтээмж, нэвтрүүлэх чадварын түвшинг дээшлүүлдэг гэж үйлчлүүлэгчдэд мэдээлэв. Ууршуулагч бүрхүүлээс ялгаатай нь ион цацрагийн нимгэн хальс нь өндөр энерги дээр хуримтлагддаг тул лазерын бүрээсний хэрэглээний зузаан зузааныг хянах, гажиг багатай нягтралтай байдаг. .
Veeco-ийн Advanced Deposition and Etch (AD&E) бизнесийн дэд ерөнхийлөгч, ерөнхий менежер, доктор Адриан Девасахаям "Шинэ үеийн лазерын нүүрэн бүрхүүл ба бичил оптик төхөөрөмжийг бүтээх чиглэлээр дэлхий даяар тэргүүлэгч Fraunhofer HHI тэргүүлэгч" гэж хэллээ. "Spector систем нь нарийвчлалтай оптик бүрэх нимгэн хальсны хувьд хосгүй чанар, уян хатан чанарыг хангаж, тэдний хөгжлийн зорилгыг хурдасгах болно."
Энэхүү төслийн санхүүжилтийг Forschungsfabrik Mikroelektronik, Фраунхофер группын доторх арван нэгэн хүрээлэнгүүдийн хамт Өндөр гүйцэтгэлтэй микроэлектроникийн инноваци, Фердинанд-Браун-Институт, Лейбниц-Институт für Höchstfrequenztechnik-тэй хамтарч ажилладаг микроэлектроник ба наноэлектроникийн судалгаа шинжилгээний үйлдвэр. Энэхүү системийг Veeco-ийн Европын сувгийн түнш байгууллагатай хамтран зарсан.Veonis Technologies.